国产光刻机卖到海外,上海微电子怎么办到的

2016-03-01 13:17:03 来源:中国经济周刊
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随着信息产业的发展,集成电路(也就是常说的“芯片”)成为手机、平板电脑等电子移动终端离不开的设备,而光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备。以光刻机为代表的高端半导体装备支撑着集成电路产业发展,芯片越做越小,集成的电路越来越多,能使终端变得小巧玲珑。

在光刻机领域,上海微电子装备有限公司(下称“SMEE”)取得了重要突破,并在先进封装光刻机产品方面形成了系列化和量产化,在国际同类产品中处于先进水平,还实现了光刻机海外市场的销售突破。SMEE也被列入国家发改委2016年1月底公布的国家认定企业技术中心名单。

在微观世界里“造房子”

近日,在浦东张江园区SMEE展览馆里,SMEE人事总监贺跃进向记者介绍了组成光刻机的核心部件。他将制造光刻机比作是在微观世界里“造房子”——成像系统由几十个直径为200~300毫米的透镜组成,定位精度都是纳米级。微米级的瞬时传输控制技术,犹如两架空客以1000/小时公里同步高速运动,在瞬间对接穿针引线;玻璃镜面加工等精度,误差不会超过0.5毫米。

SMEE总经理贺荣明接受记者采访时表示,光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价值量最大的部分,由于技术的超高难度导致在全世界形成了超高的技术门槛。

据了解,当今世界能够拥有这种技术、生产这种产品的只有两三个国家的两三家公司。贺荣明表示,集成电路行业发展的很多技术路线、工艺路线是非常依赖于光科技的发展路线,所以从这个角度,它就成为信息产业集成电路行业发展的重要基石;从另一个角度来讲,我国正在进行大的结构调整,对集成电路产业提出了非常高的期待与要求,不仅涉及到整个国家的产品结构调整发展,从某种程度它也涉及到整个信息产业的安全,所以如何在集成电路行业拥有自己的核心装备,对国家国民经济的发展就至为重要。

光刻机是集成度非常高,涉及的门类、领域、科技种类非常广泛的集成性的设备,由于这种设备的发展会牵引带动很多关键单元技术、子技术、子学科的发展,“牵一发而动全身”,它可以牵引推动整个高科技基础领域的发展。

据了解,以光刻机为代表的产品主要应用于四大领域,芯片制造、芯片先进封装、LED制造、下一代显示屏制造。另外还有类光科技产品,包括激光封装、激光退火等设备,去年开始在试验,今年逐步开始小批生产,未来为移动穿戴、智能时代提供产品。

贺荣明表示,光刻机的自主研发可以概括为一个“难”字,“因为难,有时候就逼着你没有后路背水一战去创新。”任何一个行业的发展,特别是高端装备的发展,其实最重要的还是人才,光刻机人才与其他行业相比,涉及面更广,有几十个专业,所有的技术在这个产品上汇聚、交杂,形成异常复杂的设备,对人才的广泛性、多样性提出更高要求。

 

 

 

 
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